Đặc điểm máy đo hạt nano

by thietbidous Mon Mar 13, 2023 10:50 am

máy đếm hạt nano là gì

Đồng hồ đo hạt nano là một vật dụng mới có tính cách mạng từ Particle Measuring Systems (PMS). Nó sản xuất độ nhạy của CPC với tính năng dễ dùng và chức năng của vật dụng đếm hạt bụi phòng sạch truyền thống. Được thiết kế để giám sát môi trường cực kỳ sạch, nó đem lại độ nhạy phát hiện 10 nm với vận tốc dòng là 2,8 L/phút (0,1 CFM).
một máy đồng hành đa dạng 10 cổng (ParticleSeeker

) hỗ trợ những ứng dụng yêu cầu đa dạng địa điểm mẫu để được giám sát theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình.
ngoài ra, PMS Nano 10 là khí áp suất cao tương thích với HPD-III từ PMS và dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng ứng dụng giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp tới hệ thống SCADA của bên máy ba hoặc đầu vào công cụ xử lý.

Tính năng PMS Nano 10 thiết bị đếm hạt bụi trong không khí

Zero Count < 1,5 số đếm/m3 mà ko buộc phải dùng sơ đồ zero count
Hiệu suất đếm tại: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
khuôn khổ nhỏ hơn 83% so với những vật dụng cạnh tranh (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
Chỉ cần thiết nạp đầy chất lỏng một lần mỗi năm khi hiệu chuẩn hàng năm, mang khả năng 15 tháng giữa các lần nạp mang hoạt động toàn thời gian 24×7
Độ nhạy: ≥ 10 nm
Lưu lượng mẫu: 2,8 LPM (0,1 CFM)
IP và những địa điểm cư trú trong trạm gốc cho phép vật dụng “trao đổi nóng”
4-20mA
Cổng USB (2): cho Nối tiếp qua USB (cổng dịch vụ) và ổ đĩa usb
Cổng Ethernet (2): dành cho Giao thức Ethernet & MODBUS qua TCP/IP
Sẵn sàng hoạt động 20 phút kể từ lúc bật nguồn
Dữ liệu có thể được xem, phân tích và báo cáo bằng ứng dụng giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp tới hệ thống SCADA của bên thiết bị ba hoặc đầu vào công cụ xử lý
Giám sát trình tự tuần tự hoặc được lập trình (với bộ lấy dòng 10 cổng ParticleSeeker)
Tương thích với khí áp suất cao
phù hợp để dùng trong môi trường ISO Class 1

>>> Xem thêm vòng bi tốt nhất

tiện lợi NanoAir 10

khuôn khổ cấp nhỏ nhất cho phép giám sát trong những công cụ xử lý trong những khu vực có chức năng trọng yếu nhất và trên những miếng đệm tiện ích sản xuất khí áp suất cao bị tắc nghẽn
thiết kế hệ thống xử lý chất lỏng đang chờ cấp bằng sáng chế mạnh mẽ và hiệu quả cho hoạt động liên tục 24/7/365 mà ko yêu cầu sự can thiệp của người tiêu dùng và ngăn chặn việc lấy mẫu và thu thập dữ liệu bị gián đoạn
khuôn khổ thể tích bên ngoài tốt nhất trong phân khúc đặt ra tiêu chuẩn cho CPC được thiết kế cho những ứng dụng cung ứng và kiểm soát quá trình
ko dùng luồng ko khí vỏ bọc cung ứng khả năng lấy dòng không gian
ko sở hữu khả năng vận động chất lỏng ko mong muốn trong quy trình vận chuyển, xử lý và lắp đặt rộng rãi trong những CPC ứng dụng công nghiệp khác
không với trang bị bơm hoặc quạt bên trong; loại bỏ bảo trì và tạo hạt tiềm năng
Khả năng giám sát đa dạng địa điểm dòng theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình

ứng dụng Nano Air 10

Giám sát điểm sử dụng (POU) trong các khu vực xử
Giám sát hoạt động hạt liên tục theo thời gian thực
dùng trong những công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun máy front-end (EFEM)
>>> bên cạnh ra, bạn chắc chắn tham khảo thêm đồng hồ đo áp suất

Nano Air 10 + ParticleSeeker (bộ lấy mẫu 10 cổng):

Giám sát bên trong công cụ xử lý trang bị Môi trường thu nhỏ Mô-đun Front End (EFEM)
tối ưu cho các ứng dụng cần giám sát điểm dòng được lập trình đi theo đường đi của tấm wafer hoặc bề mặt trọng yếu khác
Giám sát ô nhiễm diện rộng lên đến 120m2 không gian fab/quy trình

Nano Air 10 + HPD III (dùng để giám sát khí trơ áp suất cao)

dùng bộ đếm hạt bụi PMS Nano 10 có HPD III (Bộ khuếch tán áp suất cao) của PMS cho phép đo khí khối áp suất cao theo thời gian thực, liên tục, sở hữu độ nhạy cao.